深いトレンチを用いた新しいエッジ構造の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-009

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): New Design of Edge Ternination with Deep Trench

著者名: 高橋 孝太(富士電機アドバンストテクノロジー)

著者名(英語): Kouta Takahashi(Fuji Electric Advanced Technology Co.,Ltd.)

キーワード: エッジ|耐圧|トレンチ|表面電荷|リサーフ

要約(日本語): 深いトレンチを用いてエッジ長を劇的に短くできる新しいエッジ構造が検討されている。しかし、エッジ構造の耐圧に対する表面電荷の影響については検討されていない。本研究では、表面電荷の影響が小さい深いトレンチを用いたエッジ構造についてシミュレーションにより検討した。その結果、トレンチ側壁にリサーフp層を設け、内部を酸化膜で埋め込んだエッジ構造により、平面接合以上の耐圧を確保し、±3e12cm-2の表面電荷に対しても、耐圧低下は1V以下であった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 630 Kバイト