アクティブ除振装置における圧力フィードバックの高帯域化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-199

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Pressure Feedback with High Frequency Band for an Anti-Vibration Apparatus

著者名: 伏間千鶴 (東京農工大学),赤津 観(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Chizuru Fushima(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kan Akatsu(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: アクティブ除振装置|圧力フードバック|モデル化

要約(日本語): 除振装置には精密計測機器や精密位置決め機器が搭載されている．主流のアクティブ型除振装置では位置と加速度センサのフィードバック（FB）によって安定化を図る．特別な場合，構造物を変形させないために，さらに圧力FBが導入されている．同FBにより駆動特性は定位系になり，傾斜補正をかけるのに都合がよい．このとき圧力FB系の帯域を広くとれば物体を歪ませない．しかし，圧力帯域の高帯域化は，固有振動数での発振と高域で配管共振が顕著になる．本稿では，圧力応答にみられる反共振・共振特性を相対位置の微分信号を正帰還することによって解消し，その外側に圧力FBをかけることにより圧力帯域の高帯域化が図れることを示す．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,581 Kバイト