磁気浮上系のセンサレス制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-200

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Sensorless Control of Magnetic Levitation System

著者名: 橋本 幸恵(東京農工大学),田中 寿也(東京農工大学),赤津 観(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Yukie Hashimoto(Tokyo University of Agriculture and Technology),Toshiya Tanaka(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kan Akatsu(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 磁気軸受|速度|外乱オブザーバ

要約(日本語): 磁気軸受(MB)の特徴は非接触というメリットを持つ．しかし，MBは負のばね定数を持つため，内蔵する位置センサのフィードバックによる安定化が必要である．市販のMBを用いたターボ分子ポンプ(TMP)の周波数応答には，二つの特徴がある．一つ目は定常位置偏差を許し，二つ目は共振ピークを放置していることである．しかし，TMPを真空装置としてだけでなく制振装置としても利用するには，共振ピークを平坦にせねばならない．本稿では，速度推定に基づいて周波数応答を平坦にする．まず，速度推定アルゴリズムを示す．次に，外乱オブザーバの導出と同様の手順で速度推定が行えることを示す．最後に，TMPを使った実証結果を与える．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,842 Kバイト