誘導電荷型静電アクチュエータの駆動出力

カテゴリ: 全国大会

論文No: 5-063

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Numerical Analysis of an Electro-Static Actuator

著者名: 伊藤 明(鈴鹿工業高等専門学校),田中 佑季(鈴鹿工業高等専門学校),齊藤正美 (鈴鹿工業高等専門学校)

著者名(英語): Akira Ito(Suzuka National College of Technology),Yuki Tanaka(Suzuka National College of Technology),Masamai Saito(Suzuka National College of Technology)

キーワード: 静電力|アクチュエータ|数値計算

要約(日本語): 誘導電荷型静電アクチュエータに働く駆動力と浮上力・吸引力を、ラプラス方程式を解析的にとき求めた。櫛型電極に印加された矩形波の進行は電位を正弦波の重ねあわせとみなし、各周波数成分に対する力から数値計算により求めた。移動子と固定子の間に誘電液を満たした場合、その導電率と誘電率の組み合わせから、力の大きさとその方向が変化した。これらの数値計算結果から、駆動時の吸引力が増大し過ぎないようにし、移動時の耐久性の保証の指針を得た。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 628 Kバイト