圧電トランス型エキシマランプの真空紫外分光測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-025

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): VUV Spectroscopic Measurement for Piezoelectric Transformer-based Excimer Lamp

著者名: 稲田 大輔(千葉工業大学),寺西 研二(千葉工業大学),鈴木 進(千葉工業大学),伊藤 晴雄(千葉工業大学)

著者名(英語): Daisuke Inada(Chiba Institute of Technology),Kenji Teranishi(Chiba Institute of Technology),Susumu Suzuki(Chiba Institute of Technology),Haruo Itoh(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 圧電トランス|エキシマランプ|誘電体バリア放電|真空紫外光

要約(日本語): 著者らは強誘電体Pb(Zr・Ti)O3製圧電トランス（PT）を用いた各種プラズマリアクタを開発し、その動作特性と放電特性と応用について検討している。特にPT型プラズマリアクタをオゾン生成に応用した際には、高効率のオゾン発生器がコンパクトな構成で実現できることを報告した。（1）本報告では誘電体バリア放電（DBD）を利用したエキシマランプをPTにより構成し、He/Xe（10.8％）混合ガス中で駆動した際の発光スペクトルを観測した結果について述べる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 570 Kバイト