同軸状直流大気圧グロー放電の生成および維持

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-028

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Production and Stabilization of Coaxial-type DC Atmospheric Pressure Glow discharge

著者名: 熊谷 知行(東北大学),山田 浩義(東北大学),服部 邦彦(東北大学),安藤 晃(東北大学),犬竹 正明(東北大学),佐藤徳芳 (東北大学)

著者名(英語): Tomoyuki Kumagai(Tohoku University),Haruyoshi Yamada(Tohoku University),Kunihiko Hattori(Tohoku University),Akira Ando(Tohoku University),Masaaki Inutake(Tohoku University),Noriyoshi Sato(Tohoku University)

キーワード: 大気圧プラズマ|グロープラズマ|同軸型|平均流速|最大維持電流

要約(日本語): 近年、大気圧グロー放電プラズマを生成し、その特性を利用した応用研究が行われている。我々は簡単な電極構造の針対平板間に直流高電圧を印加（0?8kV）し、放電路に局所的に高速気流を流すことで安定にグロー放電が生成維持できることを実験的に示してきた。本研究は、プラズマメスや微細加工処理などに利用できる小型で取り扱いやすい同軸型直流大気圧グロープラズマ源の開発を目的として、進めている。今回は平均流速とグロー放電最大維持電流の関係を調べた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 744 Kバイト