大容積プラズマ源のためのマイクロホローカソード放電の並列動作特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-033

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Parallel operation Characteristics of Micro Hollow Cathode Discharges for large capacity plasma source

著者名: 石ヶ谷 章弘(埼玉大学),大内 正樹(埼玉大学),前山 光明(埼玉大学)

著者名(英語): Akihiro Ishigaya(Saitama University),ouchi masaki(Saitama University),Mistuaki Maeyama(Saitama University)

キーワード: MHCD|並列|大気圧放電|グロー放電

要約(日本語): 大気圧大容積放電プラズマ源の開発を目的とし、マイクロホローカソード放電（MHCD）プラズマの研究を行っている。MHCD単一では出力が小さく実用化が難しいため、単一の出力の拡大と、3つ以上のMHCDを並列動作させるための条件を求めることが本研究の目的である。そのため電極を作る際の作業工程の工夫、電極や絶縁シートの材料を変えるなどの改良を行い、MHCDが単一で安定に放電できる領域を拡大させ、並列動作の条件を求めた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 614 Kバイト