CF4中電子群移動速度の高周波電界応答特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-057

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Response of Electron Drift Velocity in CF₄ to Radio-Frequency Electric Fields

著者名: 森 直樹(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),荒木田大嗣 (北海道大学),須田 善行(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学)

著者名(英語): Naoki Mori(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Daishi Arakita(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University)

キーワード: 電子移動速度|電子群|モンテカルロ法|交流電界|プラズマ|フッ化炭素

要約(日本語): CF4はエッチングやフッ化炭素絶縁薄膜堆積などの半導体プロセスから排出される温室効果ガスの一つである。筆者らは非平衡プラズマによるCF4分解を目的としてCF4プラズマの基礎特性解析(1)を行なってきた。本稿ではその一環として電子移動速度の交流電界応答特性について報告する。モンテカルロ法による解析の結果、交流電界下CF4中電子移動速度のオーバーシュートに2つの異なる発生機構が見られた。低E/N（10Td、13.56MHz）では衝突散乱が少ない低エネルギー領域への電子の集中と集団的指向性が、緩和時間より長い周期で変化する電界下（150Td、1MHz）では負微分特性が主な要因と考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 702 Kバイト