純粋NH3およびNH3-Ar混合気体中の電子輸送係数の測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-058

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Measurement of Electron Swarm Parameters in Pure NH₃ and NH₃-Ar Mixtures

著者名: 大塚 良 (慶応大学),蓑毛 徹 (慶応大学),中村義春 (慶応大学)

キーワード: 電子輸送係数|NH3|NH3-Ar|電子ドリフト速度|縦方向拡散係数

要約(日本語): プラズマプロセスに広く用いられるアンモニア(NH3)のより正確な電子衝突断面積セットを決定する事を最終目的に、純粋NH3およびNH3-Ar混合気体中の電子ドリフト速度と縦方向拡散係数をそれぞれ3

原稿種別: 日本語

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