窒素プラズマ中へのアルゴン添加による原子状窒素イオンの増加効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-060

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): An Increase Effect of Single Atomic Nitrogen Ions by Ar Addition in N2 Plasma

著者名: 常世田 翔 (中央大学),杉浦祐介 (東海大学),岩尾 徹 (武蔵工業大学),進藤春雄 (東海大学),稲葉次紀 (中央大学)

キーワード: ICPプラズマ|原子状窒素イオン|分子状窒素イオン|アルゴン添加率

要約(日本語): ICP高周波プラズマによる基板への窒化膜形成において、炉内原子状イオンN+の分子状イオンN2+に対する割合が高いほど膜質の良い窒化膜を形成できることが知られている。本研究ではICP窒素プラズマ中にアルゴンを添加することにより、原子状イオンN+を増加させ、さらにその特性について調査した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 130 Kバイト