フェムト秒レーザーを用いた気体の多光子電離に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-104

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Studies on Multiphoton Ionization of Gases by a Femtosecond Laser

著者名: 栗原 伸治(九州大学),身深 亮(九州大学),バサニレシ (九州大学),内野 喜一郎(九州大学),圦本 尚義(北海道大学),東垣 真理子(大阪大学),石原 盛男(大阪大学)

著者名(英語): Shinji Kurihara(Kyushu University),Ryou Mibuka(Kyushu University),Vasa Nilesh(Kyushu University),Kiichiro Uchino(Kyushu University),Hisayoshi Yurimoto(Hokkaido University),Mariko Higashigaki(Osaka University),Morio Ishihara(Osaka University)

キーワード: フェムト秒レーザー|多光子電離

要約(日本語): 半導体の表面や深さ分布の組成の解析には、二次イオン質量分析計(SIMS)が広く用いられているが、レーザービームによる光電離と組み合わせることで、より効率的な質量分析が試みられている。本研究では、フェムト秒のレーザーをSIMSと組み合わせることで、固定波長でありながら共鳴的光電離も実現する可能性を探っている。そのために、フェムト秒レーザーのレーザースポット径を44ミクロン、105ミクロンと変化させ、He、Ne、Ar、Kr、Xeガスのそれぞれの気体の光電離の基本的特性を調べた。各気体についてレーザーエネルギーに対する飽和が確認され、共鳴的光電離の可能性があることを指摘する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,703 Kバイト