時間相関イメージセンサを用いたMEMS 構造体の実時間三次元形状観察と高速断面走査

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-116

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Real-time En-face OCT Visualization of MEMS Structure with Correlation Image Sensor

著者名: 佐藤世智 (東京大学),栗原 徹 (東京大学),安藤 繁 (東京大学)

キーワード: 光コヒーレンス断層映像法|白色干渉|時間相関イメージセンサ

要約(日本語): MEMSや半導体の任意断面を実時間で非接触に観察する手法として，時間相関イメージセンサ（CIS）を用いた光コヒーレンス断層映像システムを提案する．本システムはMirau型干渉計の光検出器としてCISを用いるものであり，参照ミラーをPZTによって正弦波駆動しながら最高 33.3 Hz で対象の任意断面を計測することができる．また，同一構成で対象の三次元形状を奥行き方向にnmの精度で計測することもできる．MEMS構造体について観察結果を示す．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,642 Kバイト