非線形伝送線路を用いた高速パルス電源とそのマイクロプラズマへの応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-152

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Fast pulse generator with nonlinear transmission lines for microplasmas

著者名: 古屋 文崇(東京工業大学),三上 亮(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Fumitaka Furuya(Tokyo Institute of Technology),Ryo Mikami(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Koichi Yasuoka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 非線形伝送線路|マイクロプラズマ

要約(日本語): 近年注目されているマイクロプラズマは数kV以下の電圧で駆動可能であるが、電源の小型化や高繰り返し周波数のパルス発生など、新たな課題が生じている。一方、非線形伝送線路はパルス急峻化や昇圧などの効果を有するので、高速、高電圧のパルス生成が可能となる。これらを背景として、本研究ではマイクロプラズマ生成用電源に非線形伝送線路を適用した。キャパシタには積層チップセラミックキャパシタを10直列にしたものを使用し、インダクタには480nHの空芯インダクタを用いた。入力パルスはサイリスタによるコンデンサ放電回路を用い、入力電圧400Vに対し、開放端における出力電圧は1.6kVにまで昇圧され、大気圧下でのマイクロプラズマ生成に成功した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 645 Kバイト