両極性パルス加速器電源の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-153

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Development of bipolar-pulse accelerator power supply

著者名: 井川 賢治(富山大学),和田 修(富山大学),冨田 隆行(富山大学),北村 岩雄(富山大学),伊藤弘昭 (富山大学),升方 勝己(富山大学)

著者名(英語): Kenji Igawa(University of Toyama),Osamu Wada(University of Toyama),Takayuki Tomita(University of Toyama),Iwao Kitamura(University of Toyama),Akihiro Ito(University of Toyama),Katumi Masugata(University of Toyama)

キーワード: 大強度パルス重イオンビーム|レールギャップスイッチ|マルチチャンネル|両極性パルス|パルスパワー加速器

要約(日本語): 本研究では、大強度パルス重イオンビームを半導体へのイオン注入に応用しようと考えている。しかし従来の方法ではイオンビームの純度に問題があった。そこで我々はビーム純度の向上が期待できる両極性パルス加速器の開発を行っている。そして今回、両極性パルス加速器用の電源の開発を行った。その電源の定格出力は、電圧± 200 kV、パルス幅 70 ns である。電源はマルクス発生器、パルス整形線路 ( PFL ) 及びレールギャップスイッチから成り、この電源の波形成形性はレールギャップスイッチのスイッチインダクタンスに大きく影響される。そして今回開発した電源の動作特性評価を行ったのでそれについて報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,042 Kバイト