空洞共振を利用した表面波プラズマ装置の大面積化に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-159

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Study on the Large Area Surface Wave Plasma Source with the Resonance Cavity

著者名: 畑崎芳成 (東京理科大学)

著者名(英語): Yoshinari Hatazaki(Tokyo University of Science)

キーワード: プラズマ|表面波|空洞共振|スロットアンテナ|FDTD法

要約(日本語): 表面波プラズマ装置のスロットアンテナ方式を採用した最近の研究で、導波管底面と誘電体との間に円筒形の空隙を設け、この空間をTM波の空洞共振器とすることで高密度プラズマの生成が可能であることがわかった。そこで、チャンバを平面ディスプレイの製造に有利な正方形とし共振器として利用可能か、さらに大面積化可能かどうかFDTDシミュレーションプログラムを用いて検討した。また、空洞の底面にスロットアンテナを設けその形状、配置によりプラズマ内の電界分布を制御可能か検討した。その結果少なくとも1辺が400?までは拡大可能であり、アンテナで電界制御もある程度可能であることが確認できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,196 Kバイト