高速パルス放電による大気圧グロープラズマの生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-164

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Atmospheric pressure glow plasma generation with fast pulsed discharge

著者名: 三上 亮 (東京工業大学),古屋文崇 (東京工業大学),井深真治 (東京工業大学),安岡康一 (東京工業大学),石井彰三 (東京工業大学)

キーワード: マイクロプラズマ|グロー放電|高速パルス電源

要約(日本語): 材料技術への応用を目指し、大気圧グローマイクロプラズマを高速パルス放電により実現し、その放電特性を解明することを目的とする。マイクロプラズマでは電極間隙が減少するに伴い、ストリーマの電極間橋絡時間などの放電に関する特性時間が短くなる。このためパルス駆動を詳細に検討するには、少なくともnsオーダの高速パルス電源を利用する必要がある。 PFLを用いた高速パルス電源を製作し、スイッチ素子を直列接続することで4kVの耐圧を実現した。Heガス流を100sccmとし、ケーブル長10mを用いてパルス幅50nsの高電圧を印加した場合、~700μmの範囲で~10A程度の大電流グロー放電が生成できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 825 Kバイト