微細ガス流マイクロプラズマより流出するイオン電流の観測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-165

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Observasion of ion current flowing out from microplasmas with helium miniature gas flow

著者名: 山内 隆彦(東京工業大学),横山 拓馬(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Takahiko Yamauti(Tokyo Institute of Technology),Takuma Yokoyama(Tokyo Institute of Technology),Sinnji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Yasuoka Koiti(Tokyo Institute of Technology),Ishii Shozo(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: イオン電流|マイクロプラズマ|微細ガス流|コレクタ

要約(日本語): マイクロプラズマの応用の一例としてガス分析に用いるイオン源として用いられる。本研究では、イオンの引き出しに外部電界を印加せずに、放電自体の電界とガス流により流出するイオンを測定し、物理現象の検討と応用への可能性を考察した。ノズル電極とメッシュ電極を用いメッシュ電極を通過するイオンをコレクタを用いて測定する。コレクタをメッシュ電極から遠ざけると大気中では空気中に存在する電子との衝突による再結合、あるいは拡散や速度低下のよりイオン電流は減少した。電源電圧を1500Vとして、ヘリウムガス流を増加させた場合、イオン電流は極大値を持ったがこれはイオン電流のピークと同期して電圧と注入電力が減少し、電流が増加していることから荷電粒子の挙動や損失などの兼ね合いからプラズマにエネルギーが注入されやすい条件となっていると考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 816 Kバイト