パルス変調Ar-N2誘導熱プラズマ下流部におけるN原子流束増幅効果の数値解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-168

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Numerical Simulation on Enhancement of N Atom Flux at Downstream Portion of Ar-N₂ Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas

著者名: 田中 康規(金沢大学),室屋 貴史(金沢大学),林 耕平(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Takashi Muroya(Kanazawa University),Kouhei Hayashi(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 熱プラズマ|窒化|パルス変調|電磁熱流体解析

要約(日本語): 筆者らはこれまでに「パルス変調誘導熱プラズマ(PMITP)」を開発し，誘導熱プラズマの温度を時間軸に対し制御し，高気圧高温プラズマに対しても熱的反応論的非平衡性を導入することを試みている。これにより熱プラズマ温度の時間平均値と反応活性種流束の平均値とをコントロールできる可能性がある。一方，Ar-N₂ PMITPに対し，筆者らはこれまでに熱的反応論的非平衡性を導入した時間依存電磁熱流体モデルを構築している。本報ではこのモデルを用いて，コイル電流のパルス変調による温度場・反応場に対する影響を検討した。その結果，プラズマトーチ下流部でのN原子流束増幅効果を見出した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,291 Kバイト