熱流測定による高周波誘導熱プラズマのエネルギーフローの解明

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-174

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Energy flow analysis for rf induction thermal plasma by heat flow measurement

著者名: 花岡 栄三郎(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Eizaburou Hanaoka(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 誘導熱プラズマ|熱流測定|誘導コイル負荷インピーダンス

要約(日本語): 高周波誘導熱プラズマに対して，プラズマ投入電力を誘導コイルの等価回路解析から，プラズマの熱エネルギーの流れを熱流計測から評価を行う。この両方から高周波誘導熱プラズマの基礎特性解析を行う。高周波誘導熱プラズマの熱・化学特性や電気エネルギーから熱エネルギーへの変換効率は産業応用において重要であり，アーク遮断現象においては冷却過程におけるプラズマ誘導熱のエネルギー輸送行程は遮断特性を限定する上での重要な要素である。これらの観点からも今回の研究が有用であると考える。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 937 Kバイト