三次元空間電荷分布測定装置の測定時間短縮

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-015

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Reduction in Measurement Time of a Three-dimensional Space Charge Distribution Measurement System

著者名: 田中秀郷 (早稲田大学),大木義路 (早稲田大学),前野 恭 (情報通信研究機構)

キーワード: パルス静電応力法|空間電荷分布|絶縁体|デジタル・フォスファー・オシロスコープ

要約(日本語): 絶縁体の空間電荷分布測定法の一つにパルス静電応力(PEA)法がある。三次元PEA法は音響レンズを使用することにより三次元空間電荷分布を測定することが可能である。我々は、三次元PEA計測において、非球面レンズを用いた装置を開発し、試料厚さ方向及びこれと直交する面方向の分解能を向上させた。しかし、分解能の向上により得られる信号強度が弱くなったため、信号処理を20万回行う必要があり、デジタル・ストレージ・オシロスコープでは信号処理に320秒要していた。今回、デジタル・フォスファー・オシロスコープを使用することにより信号処理時間を1/80の4秒に短縮させることに成功した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 723 Kバイト