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3層モデルの3次元シミュレーショントリーにおけるバリア表面上の劣化体積の変化
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カテゴリ: 全国大会
論文No: 2-045
グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集
発行日: 2006/03/15
タイトル(英語): Change in Degraded volume on barrier interface in simulation Tree of three layers model
著者名: 植原 弘明(関東学院大学),工藤 勝利(明治大学)
著者名(英語): Hiroaki Uehara(Kanto Gakuin University),Katsutoshi Kudo(Meiji University)
キーワード: 3層モデル|3次元シミュレーション|バリア|劣化体積
要約(日本語): これまで、筆者らは、バリア表面上でのエア層を考慮した3層モデルの3次元トリーシミュレーションを行ってきた。今回は、3層モデルの3次元シミュレーショントリーにおけるバリア表面上の劣化体積の変化について定量的に検討したので、その結果を報告する。
原稿種別: 日本語
PDFファイルサイズ: 697 Kバイト
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