イオン化蒸着法によるDLC薄膜太陽電池の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-088

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): The Synthesis Technique of DLC Solar Cell by Ionization Vacuum Evaporation Method

著者名: 上村 公勇(日本大学),平塚 傑工(ナノテック),中森 秀樹(ナノテック),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Tomoo Uemura(Graduate School of Nihon University),Masanori Hiratsuka(Nanotec),Hideki Nakamori(Nanotec),Kaoru Suzuki(Nihon University)

キーワード: DLC|太陽電池|イオン化蒸着法|シクロヘキサン|薄膜

要約(日本語): 近年、化石燃料の大量消費による地球温暖化が問題となっている。そこで、化石燃料に変わるクリーンかつ無尽蔵なエネルギー源として、太陽エネルギーの利用が注目されている。そこで、著者等はDLC（Diamond-Like Carbon）のアモルファス半導体特性に着目し、イオン化蒸着法によりDLC薄膜を作製することを試みた。従来、DLC薄膜を作製するにあたって原料ガスにベンゼン(C6H6)を用いていたが発ガン性等の問題があるためシクロヘキサン(C6H12)を用いDLCの成膜を試みた。今回は作製した DLC薄膜の物性について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 802 Kバイト