RFマグネトロンスパッタリング法を用いた硫酸鉛薄膜の成長と感湿特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-094

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Growth of Lead Sulfate Film by RF-Magnetoron Spattering Method and its Humidity Sensitive Characteristics

著者名: 佐々木 孝明(関東学院大学),三木 晋作(関東学院大学),大津 稔(関東学院大学),島田 和宏(関東学院大学),加藤 ひとし(関東学院大学),難波 典之(関東学院大学),平松 友康(関東学院大学)

著者名(英語): Takaaki Sasaki(Kanto-Gakuin University),Shinsaku Miki(Kanto-Gakuin University),Minoru Ootsu(Kanto-Gakuin University),Kazuhiro Shimada(Kanto-Gakuin University),Hitoshi Katou(Kanto-Gakuin University),Noriyuki Nanba(Kanto-Gakuin University),Tomoyasu Hiramatsu(Kanto-Gakuin University)

キーワード: セラミックス湿度センサ|母体制御型|薄膜|応答性|スパッタリング

要約(日本語): 現在市販されているセラミックス湿度センサは気孔制御型のものが主流である。しかしその性質上感湿応答性に関して問題があるため、この問題を解決することのできる母体制御型の湿度センサ材料が注目されている。本研究で用いた母体制御型感湿材料の硫酸鉛は一元電子ビーム蒸着法による報告例しかなく、まだその感湿機構のすべてが解明されたわけではない。この硫酸鉛をRFマグネトロンスパッタリング法により薄膜化し、市販の高分子湿度センサ・報告されているセラミックス湿度センサと応答性の面から比較し、湿度センサとしての評価を行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 758 Kバイト