針状炭素のCNTワイヤリングにおける加熱時間依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-097

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Heating time dependence with CNT wiring between needle shape carbon pair

著者名: 並木 和広(日本大学),田宮 慶太(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): kazuhiro namiki(Nihon University),keita tamiya(Nihon University),kaoru suzuki(Nihon University)

キーワード: 針状炭素|カーボンナノチューブ|レーザーアブレーション

要約(日本語): CNT:カーボンナノチューブは炭素原子のみからできたグラフェンと呼ばれる蜂の巣状のネットを直径数ナノメートルの円筒状に巻いた構造を持つ超微細素材であり、優れた電気伝導性・熱伝導性・機械的特性を有している。同様に炭素のみから構成される円錐状で先端が尖った針状炭素が対抗成長し、この先端間にCNTによりワイヤリングされる性質を電気配線に利用する事を目指している。CNTワイヤリングを施す事が出来れば従来の金属では限界が近い集積回路における微細化配線が可能になると期待される。今回、エタノール液中での熱分解法において加熱温度や加熱時間を変化させたときのSEMによる観察を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 754 Kバイト