ポルフィリン誘導体斜方蒸着膜のNO2ガス応答特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-105

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): NO₂ Gas Sensing Properties of Porphyrin Thin Films Prepared by Oblique Vacuum Evaporation Method

著者名: 落合 康成(新潟大学),大平 泰生(新潟大学),新保 一成(新潟大学),加藤 景三(新潟大学),金子 双男(新潟大学)

著者名(英語): yasunari ochiai(Niigata University),yasuo ohdaira(Niigata University),kazunari shinbo(Niigata University),keizou katou(Niigata University),futao kaneko(Niigata University)

要約(日本語): ポルフィリン誘導体斜方蒸着膜のNO₂ガス応答特性斜方蒸着法を用いて薄膜を作製することにより膜表面の凹凸が大きくなり、それに起因してガス感度の向上が期待できるので、斜方蒸着膜をガスセンサとして応用するための基礎的特性を調べることを目的としている。また光吸収やフォトルミネッセンス特性などの光学特性により薄膜の構造評価を行ったところ、薄膜作製法の違いにより分子の配向に違法性がみられた。また電気特性においてガス応答を測定したところ斜方蒸着膜は電流値の増加など応答の違いが確認され、ガスセンサとして有望ではないかと考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 796 Kバイト