ZnOナノワイヤの誘電泳動集積とUV光検出への応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-114

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Dielectrophoretic Manipulation of ZnO Nanowires and its Application to UV Light Detection

著者名: 中川 喜隆(九州大学),樋高慎一郎 (九州大学),末廣純也 (九州大学),岡田 龍雄(九州大学),東畠三洋 (九州大学),今坂 公宣(九州大学),原 雅則(九州大学)

著者名(英語): Nakagawa Nobutaka(Kyushu University),Hidaka Shin-ichirou(Kyushu University),Suehiro Junya(Kyushu University),Okada Tatsuo(Kyushu University),Higashihata Mitsuhiro(Kyushu University),Imasaka Kiminobu(Kyushu University),Hara Masanori(Kyushu University)

キーワード: 酸化亜鉛|ナノワイヤ|誘電泳動|紫外光|ワイドギャップ半導体|マイクロ電極

要約(日本語): 著者らは、電気力学現象の一種である誘電泳動によるカーボンナノチューブの集積化とガスセンサへの応用について研究を行っている。本研究では、ナノデバイス作製技術としての誘電泳動集積法の応用拡大を目的として、ナノ酸化物半導体として注目を集めているZnOナノワイヤの誘電泳動集積とセンサ応用に関する基礎的検討をおこなった。ZnOは（バンドギャップ3.3eV）はいわゆる「ワイドギャップ半導体」の一種であり、特に紫外(UV)波長域での応用が期待されている。本研究では、誘電泳動集積したZnOナノワイヤのUV光への応答を調べた。その結果、誘電泳動によって集積したZnOナノワイヤを用いて、1nW/cm²オーダーのUV光を検出できることがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 862 Kバイト