スパッタリング法によるNd-Fe-B系異方性ナノコンポジット磁石の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-121

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Fabrication of Anisotropic Nd-Fe-B based Nanocomposite Magnet by Sputtering

著者名: 村上 大輔(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),高橋 賢一郎(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Daisuke Murakami(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Ken-ichiro Takahashi(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: スパッタリング|ナノコンポジット磁石|異方性|Ne-Fe-B

要約(日本語): これまでに垂直異方性を有する磁石膜の作製手法には，基板加熱やTaを用いた多層化等の報告があった．本稿では，既報の報告結果を踏まえ，?基板加熱無し，?Nd-Fe-B/Taの多層膜形成，?熱処理による結晶化，に関してNdとFeの比率や配向に有効なTa層の厚さ等の検討を行い，異方性Nd-Fe-B/a-Feナノコンポジット磁石作製を行った．その結果，成膜後に結晶化を行う手法においても，多層構造が異方化に有効であることが確認された．また，熱磁気特性から磁気的に2相であることが確認され，Ta層を用いて積層構造とし，さらに熱処理を施し結晶化させることで，異方性ナノコンポジット磁石が作製可能であることが判明した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,065 Kバイト