遮断成膜法により作製した異方性Nd-Fe-B厚膜磁石

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-124

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Anisotropic Nd-Fe-B thick film magnets prepared by interceptive deposition method

著者名: 武田浩之 (長崎大学),佐藤修一 (長崎大学),中野正基 (長崎大学),福永博俊 (長崎大学),山下文敏 (松下電器産業)

キーワード: 遮断成膜法|PLD法|基板加熱手法|厚膜磁石|Nd-Fe-B

要約(日本語): 筆者らはこれまでに、PLD法と基板加熱手法を組み合わせることで膜面に対し垂直方向に異方化したNd-Fe-B厚膜磁石を作製してきた。さらなる異方化の向上が磁気特性の改善につながるものと考え、「成膜」とレーザの「遮断」(成膜なし)を交互に繰り返す「遮断成膜法」(IDM)と名づけた新規な成膜手法を試みた。その結果、IDMを用い作製された試料は、従来の遮断を設けない手法(CDM)を用い作製された試料に比べ残留磁化、保磁力、(BH)maxのすべての値が向上した。よって、PLD 法を用いた異方性Nd-Fe-B 厚膜磁石の磁気特性の向上に対し、遮断成膜法(IDM)が有効であることが明らかになった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 963 Kバイト