PLD法のプルームを利用した加熱成膜によるFe-Pt磁石膜の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-125

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Preparation of Fe-Pt film magnets by annealing process using a plume in PLD method

著者名: 渡邊 佳正(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Yoshimasa Watanabe(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: Fe-Pt|PLD|磁石膜

要約(日本語): 従来、我々はPLD法を用いたFe-Pt磁石膜の作製において、成膜後に得られる不規則相をポストアニーリングにより規則化し、硬磁気特性を得る手法を用いてきた。本稿では、PLD法を用いたFe-Pt磁石膜の作製過程において、成膜時に生じるプルームを利用した熱処理法を用い、ポストアニーリングを用いない簡便な磁石膜作製法ならびにその規則化の条件について検討した。その結果、プルームの熱が規則?不規則変態を生じさせる熱源となり、保磁力の向上に寄与したものと考えられる。具体的な数値として、最大で約350 kA/mの保磁力値を有する20 μm厚程度のFe-Pt磁石膜を作製できることが明らかとなった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 550 Kバイト