弱磁界で動作する磁歪型カンチレバーに関する検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-152

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Study of a Cantilevered Magnetoelastic Actuator in low magnetic field

著者名: 横田 周子(東北大学),山崎 彩(東北大学),我妻 成人(東北大学),仙道 雅彦(みやぎ産業振興機構),石山 和志(東北大学),荒井賢 一(東北大学)

著者名(英語): Chikako Yokota(RIEC,Tohoku University. ),Aya Yamazaki(RIEC,Tohoku University. ),Shigeto Agatsuma(RIEC,Tohoku University. ),Masahiko Sendoh(Miyagi Organization For Industry Promotion),Kazushi Ishiyama(RIEC,Tohoku University. ),Ken Ichi Arai (RIEC,Tohoku University. )

キーワード: 磁歪|カンチレバー|アクチュエータ|磁性薄膜|弱磁界

要約(日本語): 本検討では弱磁界中で動作可能な片持ち梁型アクチュエータについて，変位量と発生力を求める理論式を導出し，変位量については実験を行い理論式の妥当性を示した．実験試料は1 mm×5 mmのバイモルフ型2層構造となるように，厚さ5 μmのNiフォイルに良好な軟磁気特性を有するFeSiBを0.7 μm成膜した．実験は印加磁界強度10 kA/m以下で行った．結果として最大変位量は理論値が41 μm，実験値では40 μmとほぼ一致し，導出した理論式の妥当性が示された．以上のことから変位量の理論式，また同様に導出した発生力の理論式についても今後アクチュエータの検討を行う際に用いることができると考えられる．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 857 Kバイト