LIBSによるNaCl水溶液の測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-013

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Experimental research on detection of sodium in water using LIBS

著者名: 池沢 聡(早稲田大学),若松 宗明(早稲田大学),植田 敏嗣(早稲田大学)

著者名(英語): Satoshi Ikezawa(Waseda University),Muneaki Wakamatsu(Waseda University),Toshitsugu Ueda(Waseda University)

キーワード: LIBS|レーザー|ブレークダウン

要約(日本語): レーザーブレークダウン分光法(LIBS法)による分析は、試料に直接レーザー光を照射したときに発生する元素固有の波長の蛍光を検出することで試料成分の元素分析が行えるものである。光子（フォトン）を様々な計測量の測定手段として使用する事は，測定対象に外乱を与えない上，測定量を精密にリアルタイム計測ができるなどの利点を持っている．半導体製造プロセスなどで問題となる微粒子の計測は，現状では測定粒径が0.1μmまでで，粒子を構成している成分に至っては全く測定が出来ないなどの問題点を抱えている．精度の高い定量計測を確立するためには物質を構成する原子の量と発光強度との関係を解明する必要がある．この相関を解明するため，本研究報告では,ブレークダウン領域に導くのが難しい微粒子よりも確実にブレークダウンできるNaCl水溶液を用いてLIBS計測の定量化を図ることを目的とし，LIBSによる計測のために必要な実験システムの構築とNaCl水溶液を使用した濃度計測の実験結果について報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 800 Kバイト