静電的に誘引されるレジスト飛翔の振る舞い

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-021

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Distribution State of Electrostatically Extracted Flying Resist

著者名: 佐藤允則 (福岡工業大学),松尾 一壽(福岡工業大学)

著者名(英語): Mitsunori Sato(Fukuoka Institute of Technology),Kazuhisa Matsuo(Fukuoka Institute of Technology)

キーワード: レジスト|インクジェット|塗布

要約(日本語): 近年，インクジェット技術はプリンタ以外の広範囲な分野において，その応用研究が活発になされている．筆者らは，半導体ウエハのレジスト塗布方法について検討を行っている．レジスト塗布方法として静電的に誘引されるインクジェット技術の応用を試みた．本稿では，レジスト飛翔の振る舞いについて電圧を変化させた結果について報告する．レジストはノズル先端から基板に向かって垂直方向に飛翔させる．観測結果から，ノズル先端から飛翔するレジストの飛翔状態は，電圧が高くなるにつれ，松の葉状からボトルネック状になったのち，複数本に別れて飛翔している様子が分かった．また，電圧を高くすることにより，レジストの伸びが増加し，広がり具合は狭くなっていることが分かった．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 718 Kバイト