SR露光によるブレーズ型回折格子の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-133

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Fabrication of Blazed Gratings by SR Exposure System

著者名: 森田哲平(中沼アートスクリーン),外嶋 昇(中沼アートスクリーン),加藤準一(中沼アートスクリーン),蟹江智彦(住友電気工業),片山 誠(住友電気工業),永山富男(京都市産業技術研究所),水谷 泰(京都市産業技術研究所),杉山 進(立命館大学)

著者名(英語): Teppei Morita(Production engineering section Nakanuma Art Screen Co,Ltd.),Noboru Toshima(Production engineering section Nakanuma Art Screen Co,Ltd.),Junichi Kato(Production engineering section Nakanuma Art Screen Co,Ltd.),Tomohiko Kanie(Optical Communications R&D Laboratories SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES,LTD.),Makoto Katayama(Optical Communications R&D Laboratories SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES,LTD.),Tomio Nagayama(Industrial Rese),yasushi Mizuta(Industrial Rese)

キーワード: 回折格子|ブレーズ型|SR|シンクロトロン放射光

要約(日本語): SRリソグラフィーは高アスペクト比構造体を作製する有効な手法であり、さらにマスク?レジストの相対位置を可変することにより3次元形状を得ることも可能である。しかし、ブレーズ型回折格子などのサブμm?数μmオーダーの微細な3次元構造体に関する検討は少ない。本研究ではSR露光プロセスの最適化を行なう事でピッチ1.5μm、深さ0.6μmのブレーズ型のPMMA構造体を得ることができた。また構造体のブレーズ形状と回折強度のシュミレーション結果が対応されることが確認された。本技術と電鋳を複合させることで微細光学デバイス成型用金型の開発への展開が期待できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,301 Kバイト