LIGAプロセスによるライトガイド作製-UV回折露光によるテーパー加工-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-136

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Fabrication of Light Guide by LIGA Process ?Taper Processing by UV Diffraction Exposure?

著者名: 田中 貴記(姫路工業大学),瀬戸本 豊(兵庫県立大学),船曳陽一 (ナノクリエート),服部 正(兵庫県立大学)

著者名(英語): Takanori Tanaka(Himeji Institute of Technology),Yutaka Setomoto(University of Hyogo),Yoichi Funabiki(NANOCREATE INC.),Tadashi Hattori(University of Hyogo)

キーワード: テーパー加工

要約(日本語): バックライト式液晶ディスプレイの明るさの向上には、導光板が使われている。導光板とは空気と材質の屈折率差による全反射によって、目的とする場所へ光を導く光学部品である。導光板表面には、側面にある光源からの出射光を液晶面へ反射させるために特殊な加工が施されている。導光板への要求特性は、高輝度・軽量・薄型・輝度均斉度である。本研究ではこれら要求を満たすため、反射に用いる微細なドットの工夫を試みた。シミュレーションにより導出したテーパー角76°付近の円錐台状ドットの作製を目指した。テーパー角の制御を行い、レジスト上に深さ30μm、テーパー角約70°となる円錐台状の穴を作製した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 802 Kバイト