シミュレーションによるマイクロ電磁弁の吸引力向上

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-138

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Suction Force Improvement of Micro Electromagnetic Valve by Simulation

著者名: 松本 吉史(姫路工業大学),望月浩晃 (兵庫県立大学),野田 大二(兵庫県立大学),服部 正(兵庫県立大学)

著者名(英語): Yoshifumi Matsumoto(Himeji Institute of Technology),Hiroaki Mochizuki(University of Hyogo),Daiji Noda(University of Hyogo),Tadashi Hattori(University of Hyogo)

キーワード: アクチュエータ|電磁弁|電磁ソレノイド|コイル

要約(日本語): 電磁力を駆動元とするアクチュエータは、寸法が縮小するにつれ発生力が減少する傾向にある。これは電流路が微細化される為であり、このため一般的には小型化に向かないと考えられてきた。しかし、3次元X線リソグラフィを用いた円筒型コイルの作製プロセスを利用すれば、微細かつ高アスペクト比の配線が可能である。これにより電流路が大きくなり、高出力を得られることが期待できる。本研究では、電磁弁型アクチュエータが発生する吸引力の解析を行った。また、コイル形状の最適化を図る為、同じ寸法内で線径、巻数、巻密度を変えた場合の吸引力を算出し、それが吸引力に及ぼす影響を調べた。また評価装置を作製し、吸引力の測定、計算結果との比較を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 771 Kバイト