円筒コイルを用いた電磁型アクチュエータ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-139

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Electromagnetic Microactuator utilizing Spiral Microcoil

著者名: 望月浩晃 (兵庫県立大学),松本 吉史(姫路工業大学),野田 大二(兵庫県立大学),服部 正(兵庫県立大学)

著者名(英語): Hiroaki Mochizuki(Graduate School of Engineering,University of Hyogo),Yoshifumi Matsumoto(Faculty of Engineering, Himeji Institute of Technology),Daiji Noda(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,University of Hyogo),Tadashi Hattori(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,University of Hyogo)

キーワード: アクチュエータ|電磁駆動|ソレノイド|円筒型マイクロコイル

要約(日本語): 全体の寸法数mm以下の小型アクチュエータは一般にマイクロアクチュエータと呼ばれ、その駆動力源としては静電力・圧電力等様々なものが研究されている。本研究は電磁力を用いたアクチュエータに着目した。電磁駆動型アクチュエータは、電流路が微細化すると許容電流値が小さくなり出力が得難くなる為、一般的には小型化に向かないとされる。しかし本研究室では、3次元LIGAプロセス及びメタライズを用いた円筒型マイクロコイル製作法を提案しており、この配線技術により断面積が大きく、許容電流値の大きい電流路が形成できる可能性がある。この技術を応用し、小型且つ高出力のソレノイド型マイクロアクチュエータへの展開を目指している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 810 Kバイト