電磁駆動マイクロアクチュエータの提案

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-140

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Proposal of electromagnetic driving method microactuator

著者名: 須永泰由 (武蔵工業大学),鳥居 粛 (武蔵工業大学)

キーワード: MEMS|マイクロマシン|アクチュエータ|電磁駆動

要約(日本語): マイクロマシンの駆動方式の多くは静電駆動によるものである。そこで研究例の少ない電磁駆動方式に着目する。電磁駆動方式の多くは永久磁石を使用するが加工が困難であるため電磁石を製作する。電磁石は小さいため大きな磁界を得られない。そこでパンケーキコイルを多層に積層し必要磁束を得、アクチュエータを駆動していく。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 514 Kバイト