集束イオンビームを用いたマイクロアクチュエータの製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-141

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Manufacture of Micro Actuator using FIB

著者名: 今井 岳彦(武蔵工業大学),鳥居 粛(武蔵工業大学)

著者名(英語): Takehiko Imai(Musashi Institute of Technology),Susumu Torii(Musashi Institute of Technology)

キーワード: マイクロアクチュエータ|集束イオンビーム

要約(日本語): 現在，多くのマイクロアクチュエータは，一度エッチングを行い凹凸が生じている基板表面を再度加工する事なく，製作されている。しかし，凹凸面加工を行えば，支持機構の形状に自由度を与える事ができ，たわみ方向とねじれ方向の剛性を変化させる事が可能であると考えられる。そこで，本研究では，集束イオンビーム加工(FIB: Focused Ion Beam)を用い，トーションバーに溝を形成したねじれ型マイクロアクチュエータの製作を試みる。また，この加工方法におけるたわみ方向とねじれ方向の剛性の変化を実験的に明らかとする事を目的とする。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 729 Kバイト