櫛歯アクチュエータを利用したダイアフラムレス圧力センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-142

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Development of the diaphragm-less pressure sensor using comb-drive actuator

著者名: 相知修一郎 (香川大学),綾野 賢冶郎(香川大学),橋口 原(香川大学)

著者名(英語): Ohchi Syuichiro(Kagawa University),Ayano Kenjiro(Kagawa University),Hashiguchi Gen(Kagawa University)

キーワード: 櫛歯アクチュエータ|圧力センサ

要約(日本語): 現在、半導体マイクロマシーニングで作るセンサは様々な分野で実用化が進み、特に圧力センサは自動車部品を中心に今後とも多くの需要が見込まれ、さらなる高信頼化、低コスト化が望まれている。ダイアフラム構造を用いたものが一般的であるが、当研究室では、櫛歯アクチュエータの理論解析を行ない、電気回路側から見たアドミタンスを計測することで、櫛歯アクチュエータの機械特性を計測できることを示した。この理論により、プロセスが容易な櫛歯アクチュエータを用いた圧力センサができないかと考え、その可能性を検討するために、櫛歯アクチュエータを圧力センサとして動作させる実験を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,053 Kバイト