空気圧支持を用いた柔軟型シリコン集積化スマート触圧覚イメージセンサの空間分解能解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-143

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Analysis on Spatial Resolution of Silicon Flexible Smart Contact-Force Image Sensor using Pneumatic Structure

著者名: 矢和田将貴 (豊橋技術科学大学),高尾 英邦(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Masaki Yawata(Toyohashi University of Technology),Hidekuni Takao(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology),Makoto Ishida(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 触覚センサ|MEMS|スマートセンサ|空間分解能|ロボティクス|ピエゾ抵抗

要約(日本語): これまで、素子の柔軟性と複合触覚機能の集積化、画素の高集積化を可能とするシリコン触覚イメージセンサを報告してきた。今回、本センサ構造における空間分解能の評価を行なった。同一振幅の入力を検出面上の二点に加えた場合に入力点に生じるダイヤフラム応力の変化量と中間点の応力変化量の比から空間分解能指数(SRI)を定義した。SRIが0.5となる距離を空間分解能とした。SRIを用いて本センサ構造の空間分解能評価を行うため、非線形FEAを行った。この解析により、SRIはダイヤフラム厚さ、内部空気圧に強く依存した。ダイヤフラムが薄く、内部空気圧を高める程に空間分解能の値は改善されることが示された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,028 Kバイト