水晶振動子アレイを用いた温度変動下での高感度センシング

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-144

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): High-sensitive detection under temperature change using microfabricated quartz crystal resonator array

著者名: 坂田英治 (東北大学),江刺正喜 (東北大学),西澤松彦 (東北大学),安部 隆 (JST さきがけ)

キーワード: 水晶振動子|ガス検知|マイクロマシニング|温度ドリフト

要約(日本語): 水晶振動子は共振周波数の変化を観測することにより振動子表面の電極における微小な質量変化を測定できる。この特性を利用してバイオ・化学センサ等の信号変換素子として広く使用されている。水我々は半導体マイクロマシニング技術を応用し、小型で高いQ値の水晶振動子を同一基板内に2つの振動子を集積し、周波数変化の差分を観測することによって環境因子による周波数ドリフトの影響を低減することに成功した。今回、プラノ‐コンベックス型水晶振動子アレイを用いて温度制御なしでガス検知を行った結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 809 Kバイト