圧電駆動型RF-MEMS可変キャパシタの電気特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-145

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Electrical Property of Piezoelectric RF-MEMS Tunable Capacitors

著者名: 西垣 亨彦(東芝研究開発センター),長野 利彦(東芝研究開発センター),阿部 和秀(東芝研究開発センター),板谷 和彦(東芝研究開発センター),川久保 隆(東芝リサーチコンサルティング)

著者名(英語): Michihiko Nishigaki(Toshiba corporation),Toshihiko Nagano(Toshiba corporation),Kazuhide Abe(Toshiba corporation),Kazuhiko Itaya(Toshiba corporation),Takashi Kawakubo(Toshiba research consulting)

キーワード: MEMS|アクチュエータ|圧電|可変キャパシタ

要約(日本語): MEMS技術により作製した，低電圧で駆動可能な圧電駆動アクチュエータを用いた，圧電駆動型RF-MEMS可変キャパシタの電気特性について報告する。アクチュエータは2層の圧電膜(窒化アルミニウム)を電極(アルミニウム)で挟んだバイモルフ構造である。キャパシタは基板中に埋め込んだ固定電極とアクチュエータの電極間で形成される。圧電駆動電圧が0V?3Vで約1.3倍，0V?5Vで約1.9倍の容量変化率が得られた。駆動電圧が8V以上になると可動電極を兼ねたアクチュエータが固定電極を介して接触するため，容量変化は飽和した。また，容量値が増加するに従い信号線路とグランド端子間の基板を介した寄生成分の影響は低減した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 810 Kバイト