コムドライブアクチュエータを用いたAFMプローブに関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-148

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Research on AFM probe using comb drive actuator

著者名: 鈴木 勝順(香川大学),綾野 賢治郎(香川大学),橋口 原(香川大学)

著者名(英語): Katsuyori Suzuki(Kagawa University),Kenjiro Ayano(Kagawa University),Gen Hashiguchi(Kagawa University)

キーワード: 原子間力顕微鏡|コムドライブアクチュエータ

要約(日本語): 本研究はコムドライブアクチュエータによるAFMの可能性を検討することを目的としたものであり、ここでは実際に作製したコムドライブアクチュエータのアドミタンス特性について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,510 Kバイト