パラレルナノイメージング用光干渉縞型AFMマルチプローブ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-149

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): AFM multi probes using fringe patterns for a parallel nano imaging

著者名: 児山浩崇 (香川大学),大平文和 (香川大学),細木真保 (香川大学),橋口 原 (香川大学)

キーワード: パラレルナノイメージング|マルチプローブ|AFM|光干渉縞|半導体プロセス

要約(日本語): 近年、生体材料の観察等において、広範囲でのデータ収集が必要とされている。本稿では、パラレルナノイメージングを目的とした光干渉型AFMマルチプローブを提案する。本方式では、AFMプローブをアレイ状に配置し、陽極接合技術を用いることにより、プローブと検出部を一つの素子にした。本チップにより広域走査を可能とするものである。その計測原理として光干渉縞方式を用いることにより一括して広範囲計測が期待できる。本稿では、マルチプローブの構成および設計・製作プロセスの提案を行い、実際にマルチプローブチップの製作を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,456 Kバイト