ノーマリクローズAFMピンセットの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-150

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Development of Normally Close Type AFM Tweezers

著者名: 中川 和久(香川大学),橋口 原(香川大学)

著者名(英語): Kazuhisa Nakagawa(Kagawa University),Gen Hashiguchi(Kagawa University)

キーワード: 走査型プローブ顕微鏡|AFMピンセット|マイクロピンセット

要約(日本語): 原子間力顕微鏡は、大気中で原子レベルの分解能観察を可能にし、ナノ、バイオ研究には無くてはならない装置である。さらにAFM内でナノ物質の操作を可能にする為に我々は、ピンセット形状のAFMカンチレバー（AFMピンセット）を製作してきた。しかし、これまでのAFMピンセットは通常のマイクロピンセット同様、試料を把持時にアクチュエータを駆動させるタイプであった。本研究では酸化膜の膨張応力を用いることで通常時はピンセットを閉じたノーマリクローズAFMピンセットを開発した。同プローブは、真空中でしか操作できなかったマイクロ?ナノオーダの微細試料の加工、操作を大気中、液体中でより自由に行うことのできるデバイスである。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 907 Kバイト