Development of Highly Sensitive Acetaldehyde Gas Sensor

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-172

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Development of Highly Sensitive Acetaldehyde Gas Sensor

著者名: 史 麗琴 (埼玉大学),長谷川有貴 (埼玉大学),勝部昭明 (埼玉大学),中野 守 (ウチヤ,サーモスタット),中村清純 (ウチヤ,サーモスタット)

キーワード: アセトアルデヒド|高感度|酸化錫|ガスセンサ

要約(日本語): This work concerns on developing a high sensitive SnO2-based gas sensor for measuring acetaldehyde gas. The SnO2 sensing film was fabricated with radio-frequency induction plasma deposition method. The generated gas sensor showed high sensitivity for detecting acetaldehyde gas at low gas concentration down to 20 ppb with several-minutes response and recovery time, and showed the maximum operating temperature at 300 ºC. Noble metal Au addition to the sensing film showed almost no effect on the sensitivity of gas sensor for detecting acetaldehyde gas.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,367 Kバイト