レーザアブレーション法を用いたPt/SnO2/SiC/Niヘテロ構造NOxガスセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-173

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Pt/SnO2/SiC/Ni hetero-junction structure NOx gas sensor using laser ablation method

著者名: 高 巍(埼玉大学),史 麗琴(埼玉大学),長谷川 有貴(埼玉大学),勝部 昭明(埼玉大学)

著者名(英語): Wei Gao(Saitama university),Liqin Shi(Saitama university),Yuki Hasegawa(Saitama university),Teruaki Katsube(Saitama university)

キーワード: ヘテロ構造|レーザアブレーション|NOxガスセンサ

要約(日本語): 我々はこれまでSiCデバイスを応用したセンサとして、SiCの表面にSnO2膜を堆積させた接合型Pt/SnO2/SiC/Ni構造の高温で使用できるNOxガスセンサの開発を行ってきた。センサの作製法については、スッパタ法とレーザアブレーションを用いた。Pt、SnO2はスパッタ法で作製したセンサはNO2ガスに対し、0.5ppmから200ppmにわたって安定な応答を示した。NOガスに対しては感度が低かった。一方、レーザアブレーション法で作製したセンサは検出できるNO2ガス濃度は0.08ppmに達しており、応答時間も1分以内である。これに対し前報では0.5ppmまでのNO2ガスが検出出来ており、今回は大幅な改良を達成することが出来た。AFM写像によってレーザーアブレーン法で作製したSnO2膜はスパッタ法により作製した膜よりも粒子が小さく膜も多孔質であることを見られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,175 Kバイト