プラズマ重合膜被覆STWガスセンサの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-176

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Gas Sensor Using Surface Transverse Wave Device Coated with Plasma-Polymerized Films

著者名: 奈良 誠(日本無線),小貝 崇(日本無線),谷津田 博美(日本無線),川嶋 将之(産業技術総合研究所),愛澤 秀信(産業技術総合研究所),黒澤 茂(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Makoto Nara(Japan Radio Co.,Ltd.),Takashi Kogai(Japan Radio Co.,Ltd.),Hiromi Yatsuda(Japan Radio Co.,Ltd.),Shoji Kawashima(AIST),Hidenobu Aizawa(AIST),Shigeru Kurosawa(AIST)

キーワード: SAW|STW|弾性表面波|表面弾性波|表面剪断波|センサ

要約(日本語): STWデバイスを使用したガスセンサを検討した。現在圧電デバイスを使用したセンサとして水晶振動子を使用したQCMがある。QCMの高感度化には高周波化が必要である。しかし水晶振動子の高周波化は基板を薄くする必要が有り物理的に難しい。そこで高周波化に有利なSTWデバイスを使用してガスセンサの検討を行った。センサの分子認識部位として2種類のプラズマ重合膜，情報変換部位としてSTWデバイスを使用した。評価は湿度とエタノールガスの吸脱着の応答を評価した。結果、性質の異なる反応膜を成膜する事で各種ガスセンサへの応用が期待出来る結果を得た。また高周波化による高感度化も確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 725 Kバイト