FET 型水素センサ応答特性の湿度影響評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-177

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Humidity effect on the properties of FET type hydrogen sensors

著者名: 紀和 利彦(岡山大学),山口 富治(岡山大学),中田 章太(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学),横澤宏一 (日立製作所)

著者名(英語): Toshihiko Kiwa(Okayama University),Tomiharu Yamaguchi(Okayama University),Shota Nakata(Okayama University),Keiji Tsukada(Okayama University),Koichi Yokosawa(Hitachi Ltd.)

キーワード: 水素センサ|湿度|FET型センサ

要約(日本語): 現在，水素ガスを安全に取り扱うために必要不可欠な高感度水素センサの開発が急務となっている．我々は，その中で，比較的速い応答速度が期待できるFET型水素センサの開発を行っている．今回，水素センサ応答特性の湿度影響を評価した．反応ガスとして，空気及び，窒素ガス雰囲気に混合した0.1%濃度の水素を用いた．水素その結果，湿度変化後大きく信号が変化し，緩和することが示された．この結果は，水蒸気が，解離吸着する時に，水素イオンと酸素イオンで反応速度が異なるためだと考えられる．また，湿度による信号の変化量は，温度上昇により増加することが示された．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 917 Kバイト