FET型水素センサによるガス濃度分布計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-178

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Measurement of Hydrogen Gas Distribution with FET Sensor

著者名: 吉武 剣(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学),横澤宏一 (日立製作所)

著者名(英語): Ken Yoshitake(Okayama University),Toshihiko Kiwa(Okayama University),Keiji Tsukada(Okayama University),Koichi Yokosawa(HITACHI Ltd.)

キーワード: 水素センサ|ガス濃度分布|FET|水素ガス検知

要約(日本語): 水素ガスが漏洩した際に、漏洩箇所の特定と同時に、ガスの拡散状況を早急に把握することができる水素ガス検知システムを整備する必要がある。本研究では、室温でも比較的高感度に計測可能なFET型水素センサを作製し、ガス濃度拡散模擬システムの2次元濃度分布計測を行った。実験では、システムに空気を充満させた後、窒素と1%濃度の水素ガスを10 L/min.で流入させながら分布測定を行った。時間が経過するにつれて、供給口に近い方からパイプの奥の方へ水素ガスが拡散している様子を可視化することが出来た。現在、複数のセンサを用いたマルチポイント同時計測によるモニタシステムを構築中である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 782 Kバイト